聚焦離子束(FIB)高壓電源集成多輸出通道的高精度高壓電源。
系統(tǒng)包括：加速器電源，燈絲電源，抑制器電源，提取器電源以及透鏡電源。電源具有極高的輸出精度，時(shí)間穩(wěn)定度，極低的溫度漂移和紋波噪聲。
聚焦離子束主要應(yīng)用于沉積，粒子切割，透視；半導(dǎo)體分析、加工和維修；磁盤驅(qū)動(dòng)器頭平衡、離子束蝕刻和聚焦離子束印刷。
聚焦離子束高壓電源
加速器電源
- 輸出電壓：1 K ~ 30 KV
- 設(shè)定分辨率：16 bit
- 紋波噪聲：< 60 mVp-p
- 溫度系數(shù)：10 ppm/K
- 電壓絕對(duì)精度：< 0.1 %
- 輸出電流：500 uA
- 時(shí)間穩(wěn)定度：20 ppm/h
燈絲電源
- 輸出電壓：0 ~ 5 V
- 設(shè)定分辨率：16 bit
- 紋波噪聲：< 10 mAp-p( For Full-Scall)
- 溫度系數(shù)：15 ppm/K
- 電流絕對(duì)精度：0.01 A
- 輸出電流：0 ~ 4 A
- 時(shí)間穩(wěn)定度：25 ppm/h
抑制器電源
- 輸出電壓：-0.05kV ~ -1.5kV
- 設(shè)定分辨率：14 bit
- 紋波噪聲：< 20 mVp-p
- 溫度系數(shù)：25 ppm/K
- 電壓絕對(duì)精度：0.1%
- 輸出電流：≤ 110 uA
- 時(shí)間穩(wěn)定度：50 ppm/h
提取器電源
- 輸出電壓：-0.6kV~ -12kV
- 設(shè)定分辨率：16 bit
- 紋波噪聲：< 30 mVp-p
- 溫度系數(shù)：10 ppm/K
- 電壓絕對(duì)精度：< 0.1%
- 輸出電流：500 uA
- 時(shí)間穩(wěn)定度：20 ppm/h
靜電透鏡電源-A
- 輸出電壓：-0.3k ~ -15kV
- 設(shè)定分辨率：16 bit
- 紋波噪聲：< 100 mVp-p
- 溫度系數(shù)：25 ppm/K
- 電壓絕對(duì)精度：< 0.1%
- 輸出電流：100 uA
- 時(shí)間穩(wěn)定度：50 ppm/h
靜電透鏡電源-B
- 輸出電壓：1.0k ~ -30kV
- 設(shè)定分辨率：14 bit
- 紋波噪聲：< 150 mVp-p
- 溫度系數(shù)：25 ppm/K
- 電壓絕對(duì)精度：< 0.1%
- 輸出電流：100 uA
- 時(shí)間穩(wěn)定度：50 ppm/h
