納米團簇粒子源基于長期納米粒子研究領(lǐng)域的創(chuàng)新設(shè)計，通過標準的饋管和可更換的陰極靶實現(xiàn)快速的安裝使用，廣泛應用于各類高真空的納米離子源應用領(lǐng)域。
針對HIPIMS? 脈沖磁控濺射源的增加脈沖功率輸出做了極大的提高和優(yōu)化。
納米團簇粒子源
主要特色
- 空心的陰極結(jié)構(gòu)，最大限度的提高靶材的電離和納米粒子的生長
- 相比基于傳統(tǒng)的磁控管粒子源，HiPNano 納米團簇源具有更高的納米粒子生長速率
- 極易更換的空心陰極靶
- 經(jīng)過了大量的靶材的測試與實驗
- 納米粒子團簇含凈負電荷，可以實現(xiàn)粒子的精確位置引導
HiPNano主要參數(shù)
納米粒子
尺寸：< 5 nm ~ > 100 nm
材料：可濺射類材料
沉積速率：16 mg/h @ 150W
沉積面積：10 * 10 cm
材料：可濺射類材料
沉積速率：16 mg/h @ 150W
沉積面積：10 * 10 cm
脈沖參數(shù)
平均功率：< 100 V
脈沖頻率：300 ~ 2000 Hz
脈沖長度：30 ~ 100 us
脈沖頻率：300 ~ 2000 Hz
脈沖長度：30 ~ 100 us
Hipster尺寸
19寸機箱（3U）
135 mm (H) x 483 mm (W) x 390mm (D)
凈重：16 KG
135 mm (H) x 483 mm (W) x 390mm (D)
凈重：16 KG
空腔參數(shù)
高真空
工作壓力：≈ 0.8 托
真空區(qū)域長度：不低于26 cm
安裝固定：25 mm 輸入饋管
工作壓力：≈ 0.8 托
真空區(qū)域長度：不低于26 cm
安裝固定：25 mm 輸入饋管
機械尺寸
體積：580 * 100 * 100 mm
重量：3 KG
重量：3 KG
主要應用領(lǐng)域
- 太陽能電池板
- 能量存儲系統(tǒng)（電池）
- 能量轉(zhuǎn)換領(lǐng)域（催化，水分解等）
- 傳感器技術(shù)
- 醫(yī)療領(lǐng)域（例如：造影劑）
- 智能窗戶
沉積效果
