該HiPIMS同步系統(tǒng)可以對(duì)所有的單極性/雙擊脈沖磁控濺射電源以及偏置電源進(jìn)行統(tǒng)一同步。
該靈活的同步系統(tǒng)最多可同時(shí)同步控制8臺(tái)脈沖磁控濺射電源，幫助最終用戶實(shí)現(xiàn)控制脈沖輸出串序列自定義、同步、以及精準(zhǔn)延遲。同時(shí)，該同步系統(tǒng)也支持外部觸發(fā)。
脈沖磁控濺射同步系統(tǒng)
主要特設(shè)
- 最多可同時(shí)同步8臺(tái)HiPster脈沖磁控濺射電源
- 可設(shè)置具有固定頻率、固定脈沖數(shù)的脈沖串序列
- 可在多臺(tái)脈沖磁控濺射電源之間實(shí)現(xiàn)脈沖串序列的同步和時(shí)延
- 內(nèi)置觸發(fā)模塊，可以觸發(fā)同步其他外設(shè)
- 支持外部觸發(fā)，可被其他的主設(shè)備同步
- 可用于多個(gè)磁控管的同時(shí)復(fù)合濺射
- 通過(guò)精準(zhǔn)同步與延遲基板偏置，實(shí)現(xiàn)在對(duì)不同離子種類在不同時(shí)間到達(dá)基板。
- 通過(guò)外觸發(fā)，實(shí)現(xiàn)脈沖磁控濺射的過(guò)程同步診斷
HiPIMS同步系統(tǒng)參數(shù)
機(jī)械尺寸
外殼尺寸：19寸機(jī)箱（1U）
長(zhǎng)寬高：44 mm (H) x 483 mm(W) x 90 mm (D)
重量：1 KG
長(zhǎng)寬高：44 mm (H) x 483 mm(W) x 90 mm (D)
重量：1 KG
工作環(huán)境
工作溫度： +5°C to + 25°C
儲(chǔ)存溫度：-25°C to +55°C
相對(duì)濕度：最大85% (non-condensing)
大氣壓：80 kPa to 106 kPa
制冷：風(fēng)冷
儲(chǔ)存溫度：-25°C to +55°C
相對(duì)濕度：最大85% (non-condensing)
大氣壓：80 kPa to 106 kPa
制冷：風(fēng)冷
輸入指標(biāo)
輸入供電：1 phase + N, 100-240 VAC, 50/60 Hz
供電電流：0.07 A
觸發(fā):? 5V CMOS
供電電流：0.07 A
觸發(fā):? 5V CMOS
HiPIMS同步系統(tǒng)
