射頻等離子體電源，是一些列用于氣體放電的高頻周期信號的電源。
涵蓋從中頻，高頻（HF & VHF），到UHF波段，最高功率超過30KW的高頻等離子體電源。
射頻等離子體電源
中頻等離子體電源
- 可支持頻率：380 KHz，400 KHz，430 KHz，800 KHz，2 MHz
- 可選額定功率：1 KW, 2 KW, 3 KW, 5 KW
- 頻率穩定度：0.01% ~ 0.05 %
- 功率穩定度：1 %
高頻等離子體電源
- 可支持頻率：12.5 MHz，13.56 MHz，27.12 MHz，40.68 MHz，60 MHz，100 MHz
- 可選額定功率：滿量程20 W ~ 10 KW
- 頻率穩定度：0.05%，0.01% ， 0.005 %
- 功率穩定度：1 %，2 %
超高頻(UHF)等離子體電源
- 可支持頻率：300 MHz, 400 MHz, 450 MHz, 500 MHz, 2450 MHz
- 可選額定功率：滿量程30 W ~ 3 KW
- 頻率穩定度：0.05%，2 ppm(可選)
- 功率穩定度：1 %
