電子槍高壓電源，通常是通過產(chǎn)生的高精度高壓去加速一系列的電子槍的電子。
通常被高壓電源加速的電子束，主要可用于掃描電子顯微鏡（SEM），電子探針（EPMA?），場發(fā)射俄歇電子能譜顯微分析，關(guān)鍵尺寸掃描電鏡，晶圓缺陷檢測與瑕疵復查SEM，電子束光刻等應用。
電子槍高壓電源除了提供用于加速電子束的高精度主加速高壓電源，也有附加高穩(wěn)定的燈絲電源，抑制器電源，引出電源，以及透鏡電源。
電子槍高壓電源
主加速電源
- 輸出電壓：± 30 K ~? ± 60 KV
- 設(shè)定分辨率：12bit ~ 16 bit
- 紋波噪聲：< 2 ~ 9 ppm
- 溫度系數(shù)：3 ppm/K ~ 5 ppm/K
- 電壓絕對精度：< 0.5% ~ < 0.1 %
- 輸出電流：100 uA ~ 1 mA
- 時間穩(wěn)定度：5 ~ 100 ppm/h
燈絲電源 (Option)
- 輸出電壓：0 ~ 5 V
- 設(shè)定分辨率：12 ~ 16 bit
- 紋波噪聲：<5mA ~ 10 mAp-p @ 3A
- 溫度系數(shù)：10 ~ 200 ppm/K
- 電流絕對精度：0.01 A
- 輸出電流：0 ~ 3.3 A
- 時間穩(wěn)定度：20 ~ 200 ppm/h
抑制器電源 (Option)
- 輸出電壓：-0.03kV ~ -0.6 KV
- 設(shè)定分辨率：14 bit ~ 16 bit
- 紋波噪聲：< 20 mVp-p ~ < 50 m Vp-p
- 溫度系數(shù)：25 ppm/K
- 電壓絕對精度：0.5 % ~ 1 %
- 輸出電流：≤ 150 uA
- 時間穩(wěn)定度：50 ppm/h
提取器電源 (Option)
- 輸出電壓：0.2 kV~ 8 kV
- 設(shè)定分辨率：16 bit
- 紋波噪聲：< 30 mVp-p ~ 100 mVp-p
- 溫度系數(shù)：5 ppm/K ~ 20 ppm/K
- 電壓絕對精度：< 0.1 % ~ < 0.5 %
- 輸出電流：≤ 200 uA ~ ≤ 1 mA
- 時間穩(wěn)定度：10 ppm/h ~ 50 ppm/h
其他可選電源輸出
- 靜電透鏡電源
- 柵極電源
- 偏置電源
