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在半導(dǎo)體等離子體刻蝕過程中，脈沖電源作為偏置電源具有多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)，這些優(yōu)勢(shì)使其在精細(xì)加工和復(fù)雜結(jié)構(gòu)制造中變得越來越重要。以下是脈沖電源在這一應(yīng)用中的主要優(yōu)勢(shì)： 1.…